We use cookies and similar technologies for analytics, to understand how the site is used. You can accept or decline non-essential cookies. See our Privacy Policy.
Lam Research Corporation designs, manufactures, markets, refurbishes, and services semiconductor processing equipment used in the fabrication of integrated circuits in the United States, China, Korea, Taiwan, Japan, Southeast Asia, and Europe. The company offers ALTUS systems to deposit conformal or selective films for tungsten or molybdenum metallization applications; SABRE electrochemical deposition products for copper interconnect transition that offers copper damascene manufacturing; SPEED gapfill high-density plasma chemical vapor deposition (CVD) products; Striker single-wafer atomic layer deposition products for dielectric film solutions; and VECTOR plasma-enhanced CVD products. It also provides Flex for dielectric etch applications; Vantex, a dielectric etch system that provides RF technology and repeatable wafer-to-wafer performance enabled by Equipment Intelligence solutions; Kiyo for conductor etch applications; Syndion for through-silicon via etch applications; and Versys metal products for metal etch processes. In addition, the company offers Coronus bevel clean products to enhance die yield; and Da Vinci, DV-Prime, EOS, and SP series products to address various wafer cleaning applications. Further, it provides Reliant deposition, etch, and clean products; and Sense.i platform products, as well as customer service, spares, and upgrades. Lam Research Corporation was incorporated in 1980 and is headquartered in Fremont, California.
Lam Research Corporation은 미국, 중국, 한국, 대만, 일본, 동남아시아, 유럽에서 집적 회로 제작에 사용되는 반도체 공정 장비를 설계, 제조, 판매, 재정비 및 서비스합니다. 이 회사는 텅스텐 또는 몰리브데넘 금속화 애플리케이션을 위한 등각 또는 선택적 박막 증착용 ALTUS 시스템을 제공합니다. 또한, 구리 인터커넥트 전환을 위한 SABRE 전기화학 증착 제품은 구리 다마신 제조를 가능하게 하며, SPEED 갭필 고밀도 플라즈마 화학 기상 증착(CVD) 제품, 유전체 박막 솔루션을 위한 Striker 단일 웨이퍼 원자층 증착 제품, 그리고 VECTOR 플라즈마 강화 CVD 제품도 제공합니다. 이 외에도 유전체 식각 애플리케이션을 위한 Flex, RF 기술과 Equipment Intelligence 솔루션으로 구현되는 반복 가능한 웨이퍼 간 성능을 제공하는 유전체 식각 시스템인 Vantex, 도체 식각 애플리케이션을 위한 Kiyo, 실리콘 관통 전극(TSV) 식각 애플리케이션을 위한 Syndion, 그리고 금속 식각 공정을 위한 Versys 금속 식각 제품을 제공합니다. 또한, 이 회사는 다이 수율 향상을 위한 Coronus 베벨 클린 제품과 다양한 웨이퍼 클리닝 애플리케이션을 위한 Da Vinci, DV-Prime, EOS, SP 시리즈 제품을 제공합니다. 나아가 Reliant 증착, 식각 및 클린 제품과 Sense.i 플랫폼 제품을 비롯하여 고객 서비스, 예비 부품 및 업그레이드도 제공합니다. Lam Research Corporation은 1980년에 설립되었으며, 캘리포니아주 프리몬트에 본사를 두고 있습니다.